高純氣體PO2的在線質量流量的測量

在半導體工廠，對于高純氧氣PO2的流量監測，因為現場管道為1英寸EP管，故此采用帶EP管段式的熱質流量計（可參考圖示）。
它的表頭和管段之間采用VCR接口方式，以方便日后每年1次的年度校準，擰下VCR的公頭即可。該流量計管段和現場管道采用焊接方式；表頭可顯示瞬時質量流量和累積質量流量；同時可通過4-20mA/MODBUS等輸出方式將數據傳遞給上位主機。該流量計具有1級精度、原氣標定、重復性好、免維護和壽命長等特點，已經成為半導體工廠對于PO2、GN2、HPCDA、MPCDA、PHe、PAr、GH2等氣體流量監測的優先選擇。